వాక్యూమ్ అయాన్ పూత పరికరాల పని సూత్రం

వాక్యూమ్ అయాన్ ప్లేటింగ్ ఎక్విప్మెంట్ అనేది అయాన్ కిరణాలను వేగవంతం చేయడానికి మరియు వాటిని ఒక వస్తువు యొక్క ఉపరితలంపై కొట్టడానికి అధిక-వోల్టేజ్ ఎలక్ట్రిక్ ఫీల్డ్‌ను ఉపయోగించే పరికరం, తద్వారా సన్నని ఫిల్మ్ ఏర్పడుతుంది. దీని పని సూత్రాన్ని వాక్యూమ్ సిస్టమ్, అయాన్ సోర్స్ మరియు టార్గెట్ అనే మూడు భాగాలుగా విభజించవచ్చు.
1. వాక్యూమ్ సిస్టమ్
అయాన్ ప్లేటింగ్ పరికరాల ఆపరేషన్ కోసం వాక్యూమ్ ప్రాథమిక పరిస్థితి, మరియు దాని ప్రతిచర్య యొక్క మూడు అంశాలు ఒత్తిడి, ఉష్ణోగ్రత మరియు సంతృప్తత. ప్రతిచర్య యొక్క ఖచ్చితత్వం మరియు స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారించడానికి, వాక్యూమ్ అవసరం చాలా ఎక్కువ. అందువల్ల, అయాన్ ప్లేటింగ్ పరికరాల యొక్క ముఖ్య భాగాలలో వాక్యూమ్ సిస్టమ్ ఒకటి.
వాక్యూమ్ సిస్టమ్ ప్రధానంగా నాలుగు భాగాలతో కూడి ఉంటుంది: పంపింగ్ సిస్టమ్, ప్రెజర్ డిటెక్షన్ సిస్టమ్, గ్యాస్ బ్యాకప్ సిస్టమ్ మరియు లీకేజ్ నివారణ వ్యవస్థ. గాలి వెలికితీత వ్యవస్థ శూన్య స్థితిని సాధించడానికి పరికరాలలో వాయువును తీయగలదు. కానీ దీనికి సంక్లిష్టమైన పైపింగ్ వ్యవస్థ మరియు మెకానికల్ పంపులు, డిఫ్యూజన్ పంపులు, మాలిక్యులర్ పంపులు మొదలైన వాటితో సహా వివిధ వాక్యూమ్ పంపులు అవసరం.
ప్రెజర్ డిటెక్షన్ సిస్టమ్ వాక్యూమ్ ఛాంబర్‌లోని ఒత్తిడిని నిజ సమయంలో గుర్తించగలదు మరియు డేటా ప్రకారం దాన్ని సర్దుబాటు చేస్తుంది. లీక్ సంభవించినప్పుడు, శూన్యతను త్వరగా సృష్టించడానికి గ్యాస్ బ్యాకప్ వ్యవస్థను ఉపయోగించవచ్చు. యాంటీ-లీకేజ్ వ్యవస్థ లీకేజీ సంభవించడాన్ని నిరోధించగలదు, పరికరాల వైపు మరియు వెలికితీత పైప్‌లైన్ యొక్క పరికరాల వైపు సీలింగ్, వాల్వ్ మూసివేయడం మరియు తెరవడం వంటివి.
2. అయాన్ సోర్స్
అయాన్ మూలం అయాన్ పుంజం ఉత్పత్తి చేసే అయాన్ ప్లేటింగ్ పరికరాల భాగం. అయాన్ మూలాలను రెండు వర్గాలుగా విభజించవచ్చు: బల్క్ మూలాలు మరియు పూత వనరులు. బల్క్ మూలాలు ఏకరీతి అయాన్ కిరణాలను ఉత్పత్తి చేస్తాయి, అయితే పూత వనరులు నిర్దిష్ట పదార్థాల సన్నని చిత్రాలను రూపొందించడానికి ఉపయోగించబడతాయి. వాక్యూమ్ చాంబర్‌లో, అయాన్ తరం సాధారణంగా ప్లాస్మా ఉత్తేజిత ఉత్సర్గ ఉపయోగించి సాధించబడుతుంది. ప్లాస్మా చేత ప్రేరేపించబడిన ఉత్సర్గలో ఆర్క్ డిశ్చార్జ్, డిసి డిశ్చార్జ్ మరియు రేడియో ఫ్రీక్వెన్సీ డిశ్చార్జ్ ఉన్నాయి.
అయాన్ మూలం సాధారణంగా సిరియం ఎలక్ట్రోడ్, యానోడ్, అయాన్ సోర్స్ చాంబర్ మరియు పూత సోర్స్ చాంబర్‌తో కూడి ఉంటుంది. వాటిలో, అయాన్ సోర్స్ చాంబర్ అయాన్ బాడీ యొక్క ప్రధాన శరీరం, మరియు వాక్యూమ్ చాంబర్‌లో అయాన్లు ఉత్పత్తి చేయబడతాయి. పూత సోర్స్ చాంబర్ సాధారణంగా దృ target మైన లక్ష్యాన్ని ఉంచుతుంది, మరియు అయాన్ పుంజం సన్నని చలనచిత్రాన్ని సిద్ధం చేయడానికి ప్రతిచర్యను సృష్టించే లక్ష్యాన్ని బాంబు దాడి చేస్తుంది.
3. టార్గెట్
అయాన్ ప్లేటింగ్ పరికరాలలో సన్నని ఫిల్మ్‌లను రూపొందించడానికి లక్ష్యం పదార్థ ఆధారం. లక్ష్య పదార్థాలు లోహాలు, ఆక్సైడ్లు, నైట్రైడ్లు, కార్బైడ్లు వంటి వివిధ పదార్థాలు కావచ్చు. లక్ష్యం అయాన్లతో బాంబు దాడి ద్వారా రసాయనికంగా స్పందించబడుతుంది. అయాన్ ప్లేటింగ్ పరికరాలు సాధారణంగా లక్ష్యం యొక్క అకాల దుస్తులను నివారించడానికి లక్ష్య స్విచింగ్ ప్రక్రియను అవలంబిస్తాయి.
సన్నని ఫిల్మ్‌ను తయారుచేసేటప్పుడు, లక్ష్యం అయాన్ పుంజం ద్వారా బాంబు దాడి చేయబడుతుంది అయాన్లు భౌతిక ఆక్సీకరణ-తగ్గింపు ప్రతిచర్యలను ఉత్పత్తి చేయగలవు కాబట్టి, సన్నని ఫిల్మ్‌లను తయారుచేసేటప్పుడు రసాయన ప్రతిచర్య ప్రక్రియను నియంత్రించడానికి ఆక్సిజన్ మరియు నత్రజని వంటి వాయువులను అయాన్ పుంజంలో కూడా చేర్చవచ్చు.
సంగ్రహించండి
వాక్యూమ్ అయాన్ లేపన పరికరాలు అయాన్ ప్రతిచర్య ద్వారా మొయిర్ ఏర్పడే ఒక రకమైన పరికరాలు. దీని పని సూత్రంలో ప్రధానంగా వాక్యూమ్ సిస్టమ్, అయాన్ సోర్స్ మరియు టార్గెట్ ఉన్నాయి. అయాన్ మూలం ఒక అయాన్ పుంజం ఉత్పత్తి చేస్తుంది, దానిని ఒక నిర్దిష్ట వేగంతో వేగవంతం చేస్తుంది, ఆపై లక్ష్యం యొక్క రసాయన ప్రతిచర్య ద్వారా ఉపరితల ఉపరితలంపై ఒక సన్నని చలన చిత్రాన్ని రూపొందిస్తుంది. అయాన్ పుంజం మరియు లక్ష్య పదార్థం మధ్య ప్రతిచర్య ప్రక్రియను నియంత్రించడం ద్వారా, సన్నని చిత్రాలను తయారు చేయడానికి వివిధ రసాయన ప్రతిచర్యలను ఉపయోగించవచ్చు.